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産品展示
晶圓傳輸系統(tǒng)-EFEM

8”/12”晶圓適用
相容Wafer cassette / FOUP / FOSB / Box進(jìn)出料
可選貝努利晶圓搬運(yùn)科技
配寘12”裝卸料塢
晶圓智慧料籃內(nèi)測繪
非接觸晶圓校正
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
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